熱式氣體質量流量計是利用熱擴散原理測量氣體流量的儀表。傳感器由兩個基準級熱電阻(RTD)組成。一個是速度傳感器RH，一個是測量氣體溫度變化的溫度傳感器RMG。當這兩個RTD置于被測氣體中時，其中傳感器RH被加熱，另一個傳感器RMG用于感應被測氣體溫度。隨著氣體流速的增加，氣流帶走更多熱量，傳感器RH的溫度下降。
熱式氣體質量流量計的工作原理：
熱式流量計是基于熱擴散原理而設計的流量儀表.即利用流體流過發熱物體時,發熱物體的熱量散失多少與流體的流量呈一定的比例關系.該系列流量計的傳感器有兩只標準級的RTD,一只用來做熱源,一只用來測量流體溫度,當流體流動時,兩者之間的溫度差與流量的大小成線性關系,再通過微電子控制技術,將這種關系轉換為測量流量信號的線性輸出。
熱式氣體質量流量計的主要特點：
1、安裝方便，維修簡單雙向檢測，防振動；
2、多至24點流量測量；
3、輸出模擬量的校正多點非線性曲線修正；
4、寬量程比100：1；
5、流量與溫度同時檢測，切換顯示；
6、大口徑小流量測量，可做泄露檢測；
7、采用專有技術“雙平衡結構”封裝傳感器；
8、專有高濕、高溫算法，介質溫度可達500℃；
9、直接質量流量檢測，無需溫度壓力補償。
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